安捷倫干式 IDP 渦旋泵
50 Hz: 50 l/m, 3.0 m3/h
50 Hz: 214 l/m, 12.8 m3/h
安捷倫旋片泵DS 系列
50 Hz (m3/h): 25
50 Hz (m3/h): 40
HLD系列檢漏儀
3-30m3/h (10 cfm)
5 × 10-12?mbar?L/s，5 × 10-12?atm?cc/s，5 × 10-13?Pa?m3/s
XGS-600 控制器
1 x 10-11?Torr 到大氣壓
8個同步通道進行壓力測量
PCG-750 皮拉尼電容薄膜規管
5x 10?-5?mbar (3.8 x 10?-5?Torr)
鎳燈絲
PVG-500S 皮拉尼規管
5 x 10-4?到 1000 mbar（3.75 x 10-4?到 750 Torr）
80 ms
渦輪分子泵Turbo-V 1001 Navigator
N2：790 L/s
He：820 L/s
H2：860 L/s
渦輪分子泵TwisTorr 804 FS
660 L/s
485 L/s
690 L/s
渦輪分子泵TwisTorr 404 FS
380 L/s
505 L/s
415 L/s
渦輪分子泵TwisTorr 74 FS
44 L/s
50 L/s
60 L/s
TwisTorr 305
255 L/s
< 1 × 10?-10?mbar
